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LoadPort

LoadPort是澳门新澳京公司自主研发的一种晶圆装载装置,可安装在EFFM上,适用于8寸和12寸晶圆盒的装载,具备准确的mapping功能,可自动识别盒内晶圆各槽状态,如单片、跨片、异常片,通过独创的开关门机构和精确的运动控制,实现了高清洁性能,同时具有良好的稳定性和速度。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    速度快、稳定性好
  • 可挂载
    可挂载到标准EFFM接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圆和的开启和关闭
  • 自动识别
    自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
  • 防夹手功能
    内置防夹手功能

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 动作对象

    300mm 25 Wafer FOUP/ 200mm 25 Wafer adaptor

  • 外形尺寸mm H x W x D

    1381*470*570

  • 本体重量

    60kg

  • 重复位置精度

    ±0.1 mm

  • 动作时间

    开盒带Mapping 14Sec

  • 动作时间

    关盒不Mapping 10Sec

  • 洁净等级

    CLASS 100

  • 气源

    真空:-40~-80KPa 压缩空气:0.5~0.6Mpa

  • 电源

    DC 24V 3AMax

  • 可靠性

    MCBF 500,000 times

  • 通讯接口

    RS232

  • 震动

    0.7g

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