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EFEM是一个晶圆前端传输设备，是一个与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制，充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小，采用带外部轴的双臂机械手，通过双轴复合运动实现取放片，极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构，保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别，保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护，从软件到硬件，多重保证晶圆传输过程中的安全，人员与设备的安全。
2100*750*2500mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥150
