6月29日-7月1日， SEMICON CHINA 在上海新国际博览中心盛大举办，澳门新澳京携EFEM+真空平台仿真模型亮相此次行业展会。

在SEMICON CHINA现场，澳门新澳京展出的EFEM+真空平台仿真模型得到现场观众广泛关注。澳门新澳京EFEM真空平台产品可集成大气机械手、晶圆对准装置以及真空直驱机械手、真空部VPH、真空腔室等部件，是一款满足特定应用需求的综合性产品。产品具备一体化程度高、自动化程度高、可靠性高、适应性强等特点。

澳门新澳京EFEM、真空直驱机械手、真空平台等产品，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及测试等半导体制造领域。

（图）行业客户莅临参观

关于沈阳澳门新澳京半导体设备有限公司

澳门新澳京机器人的全资子公司沈阳澳门新澳京半导体设备有限公司，成立于2023年，公司前身为澳门新澳京机器人自动化股份有限公司半导体装备事业部。核心团队经过近20年的技术沉淀与经验积累，打造了拥有完全自主知识产权的洁净自动化核心系列产品，公司在沈阳拥有300余人的高水平技术研发团队，10000余平方米的洁净工厂，具有行业领先的产品开发及规模化生产交付能力。公司创新产品现已广泛运用于各种半导体工艺制程，为世界各地的半导体设备供应商提供高效和可靠的自动化解决方案。